FAB無塵室是芯片生產(chǎn)加工的凈化車間的一般稱呼。tsmc、中芯國際的生產(chǎn)線都叫fab。凈化車間不一樣等級(jí)氣體潔凈度等級(jí)的空氣過濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn)：針對(duì)300000級(jí)空氣過濾解決，可選用亞高效送風(fēng)口替代高效送風(fēng)口；氣體潔凈度等級(jí)100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣過濾解決，應(yīng)選用初、中、高效送風(fēng)口三級(jí)過濾裝置。

FAB半導(dǎo)體材料芯片無塵室工作環(huán)境的規(guī)定：因?yàn)殡娮釉O(shè)備在生產(chǎn)制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣質(zhì)量自然環(huán)境和質(zhì)量的規(guī)定極其嚴(yán)苛，關(guān)鍵以操縱粒子和塵土為關(guān)鍵目標(biāo)，與此同時(shí)還對(duì)其自然環(huán)境的溫度濕度、清新空氣量、噪音等做出了嚴(yán)苛的要求。1、房間內(nèi)的噪音級(jí)（空態(tài)）：不可超過65dB(A)。2、豎直流凈化室布滿比不可低于60%，水準(zhǔn)單邊流凈化室不可低于40%，不然便是部分單邊流了。3、與戶外的負(fù)壓差不可低于10Pa，不一樣氣體潔凈度等級(jí)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)中間的負(fù)壓差不可低于5Pa。4、清潔房間內(nèi)的清新空氣量應(yīng)選以下二項(xiàng)中的最高值：5、賠償房間內(nèi)風(fēng)量和維持房間內(nèi)正壓力值所需的清新空氣量之和。6、保證供給清潔房間內(nèi)每個(gè)人每鐘頭的清新空氣量不小于40m3。7、空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件電加熱器，應(yīng)設(shè)定新風(fēng)系統(tǒng)，過熱關(guān)閉電源維護(hù)，若選用點(diǎn)增濕時(shí)要設(shè)定沒有水維護(hù)，嚴(yán)寒地域，家用新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)定防寒保障措施。無塵室的送排風(fēng)量。

半導(dǎo)體材料（FAB）凈化室中空氣濕度的目標(biāo)大概操縱在30至50%的范疇內(nèi)，容許偏差在±1%的狹小的范疇內(nèi)，比如光刻技術(shù)區(qū)──或是在遠(yuǎn)紫外光解決（DUV）區(qū)乃至更小──而在別的地區(qū)則能夠釋放壓力到±5%的范疇內(nèi)。